センサー

• 動圧センサー

  動圧センサーは、急速に変化する圧力を測定するように設計された特殊なタイプのセンサーです。安定した圧力またはゆっくりと変化する圧力を測定する静圧センサーとは、性能要件、内部構造、およびアプリケーションシナリオの点で大きく異なります。

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• MEMS圧力センサー

  MEMS 圧力センサーは、最新の圧力センシング技術の絶対的な核心であり、主流です。これらは、小型化、インテリジェンス、低コストにおける革命を表しています。
  MEMS (マイクロ-電気-) 機械システムとは、集積回路 (IC) 製造プロセスを使用してシリコン ウェーハ上に大量に製造される小型の機械および電子システムを指します。

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• 圧力センシングコア

  MEMS 圧力センサーは、最新の圧力センシング技術の絶対的な核心であり、主流です。これらは、小型化、インテリジェンス、低コストにおける革命を表しています。
  MEMS (マイクロ-電気-) 機械システムとは、集積回路 (IC) 製造プロセスを使用してシリコン ウェーハ上に大量に製造される小型の機械および電子システムを指します。

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• セラミック圧力センサー

  セラミック圧力センサーとは、コアの圧力感知弾性要素としてアルミナ セラミックを使用するセンサーを指します。{0}}これらは主に厚膜印刷と高温同時焼成プロセスを利用して、セラミック ダイヤフラムの背面にピエゾ抵抗ホイートストン ブリッジを直接形成します。{{3}セラミックダイヤフラムが圧力により微小変形すると抵抗変化が生じ、電気信号を出力します。

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• 圧力伝送器

  圧力トランスミッタは、完全なパッケージ化された機器です。圧力検知コア、信号調整回路、電源管理回路が統合されており、処理された圧力信号を標準化された工業用出力信号に変換および増幅できます。

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• 共振圧力センサー

  共振圧力センサーは、機械共振要素の固有振動数の変化を検出することによって圧力を測定するセンサーの一種です。その出力信号は、電圧や電流ではなく、周波数です。
  このセンサーの中心原理は、圧力 → 応力 → 共振素子の剛性の変化 → 固有振動数の変化です。

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• セラミック静電容量式絶対圧力センサー

  セラミック静電容量式絶対圧力センサは、アルミナセラミックを芯材として使用し、静電容量の変化を検出することで絶対真空基準点に対する相対的な圧力を測定するセンサです。
  簡単に言うと、圧力を静電容量の変化に直接変換する「可変コンデンサ」であり、基準キャビティは真空で密閉されています。

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• ゲージ圧センサー

  ゲージ圧センサーは、局所的な大気圧に対する圧力を測定するために使用されます。目標圧力と現在の周囲大気圧の差を測定します。
  その中心となる概念は、次のような簡単な式で表現できます。
  ゲージ圧=絶対圧 - 局所大気圧

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• 密閉型圧力センサー

  密閉型圧力センサー 密閉型圧力センサーは、製造プロセス中に基準圧力キャビティが固定圧力で永久的に密閉されるタイプのセンサーです。測定対象の媒体の圧力と内部に密閉された基準圧力との差を測定します。

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• シリコン共振差圧センサー

  シリコン共振差圧センサーは、シリコンマイクロマシニング技術を使用して製造された共振センサーの一種で、2 つの圧力入口間の圧力差を測定するように特に設計されています。その中心原理は、単結晶シリコン共振ビームの固有振動数の変化を測定することによって差圧値を決定することです。-

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• 光学式加速度計

  光学式加速度計は、光学パラメータ (光の強度、位相、周波数、波長など) の変化を検出することによって加速度を測定するデバイスです。その中心的な機能は、慣性プルーフマスの動き (加速度によって引き起こされる) を測定可能な光信号に変換することです。

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• 磁気電気速度センサー

  電磁速度センサーは、電磁誘導の法則（ファラデーの法則）を利用して振動速度を直接電気信号出力に変換するタイプのセンサーです。外部電源を必要とせず、自己生成（電力生成）センサーです。-

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