MEMS 圧力センサーは、最新の圧力センシング技術の絶対的な核心であり、主流です。これらは、小型化、インテリジェンス、低コストにおける革命を表しています。
MEMS (マイクロ-電気-) 機械システムとは、集積回路 (IC) 製造プロセスを使用してシリコン ウェーハ上に大量に製造される小型の機械および電子システムを指します。
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セラミック圧力センサーセラミック圧力センサーとは、コアの圧力感知弾性要素としてアルミナ セラミックを使用するセンサーを指します。{0}}これらは主に厚膜印刷と高温同時焼成プロセスを利用して、セラミック ダイヤフラムの背面にピエゾ抵抗ホイートストン ブリッジを直接形成します。{{3}セラミックダイヤフラムが圧力により微小変形すると抵抗変化が生じ、電気信号を出力します。もっと
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セラミック静電容量式絶対圧力センサーセラミック静電容量式絶対圧力センサは、アルミナセラミックを芯材として使用し、静電容量の変化を検出することで絶対真空基準点に対する相対的な圧力を測定するセンサです。もっと
簡単に言うと、圧力を静電容量の変化に直接変換する「可変コンデンサ」であり、基準キャビティは真空で密閉されています。 -
シリコン共振差圧センサーシリコン共振差圧センサーは、シリコンマイクロマシニング技術を使用して製造された共振センサーの一種で、2 つの圧力入口間の圧力差を測定するように特に設計されています。その中心原理は、単結晶シリコン共振ビームの固有振動数の変化を測定することによって差圧値を決定することです。-もっと
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