セラミック静電容量式絶対圧力センサは、アルミナセラミックを芯材として使用し、静電容量の変化を検出することで絶対真空基準点に対する相対的な圧力を測定するセンサです。
簡単に言うと、圧力を静電容量の変化に直接変換する「可変コンデンサ」であり、基準キャビティは真空で密閉されています。
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